Mass spectrometers for vacuum, gas, plasma and surface science

 

Under mer än tjugo år har Hiden Analytical varit världsledande inom konstruktion och tillverkning av vetenskapliga instrument för forskning, utveckling och produktion. Våra fyrpoliga masspektrometrar för vakuum, gasanalys, yt- och plasmaprocesser har fått erkännande världen över för sin precision och utomordentliga prestanda. Vårt sortiment av analysinstrument kompletteras av Proteus flerflödesventiler, som har oöverträffade prestanda vid provtagning av gas i processer och i omgivningen.

 

 

   

Serien Hiden RGA består av fyrpoliga detektorer med jonkälla, som kan anpassas till alla tillämpningar. Sortimentet omfattar instrument från HALO 100 med minsta mätbara partialtryck på 1 x 10-11mbar till det dubbla detektionssystemet Faraday/enkanals elektronmultiplikator på HAL-201 med minsta mätbara partialtryck 5 x 10-14mbar. Varje instrument är kalibrerat med en standardiserad referensgas och en standardiserad joniseringsmätare.

 

Restgasanalysatorerna i serie Hiden RGA uppfyller kraven i alla typer av tillämpningar. Det finns instrument som passar för rutinmässig läcksökning och vakuumavtryck i halvledar-PVD och jonimplantat, eller övervakning av kammarföroreningar och virtuell läcksökning i MBE.

 

Våra instrument i serie 3F har massområden upp till 1000 amu, dubbel Faraday/enkanals elektronmultiplikator. Det finns också ett sortiment av joniserare. Serie 3F ger förbättrad högmasseöverföring, bättre skydd mot föroreningar, långtidsstabilitet och hög känslighet för abundans.

 

 

    Hiden serie 3F består av fyrpoliga masspektrometrar med trippelfilter för precisionsanalys av gaser och vetenskapliga tillämpningar. I sortimentet finns även Hiden 3F/PIC-systemet med pulsad jonräkningsindikering för snabba UHV-gasstudier, EPIC-systemet för analys av radikaler och tidsupplöst mätning. I serien ingår även IDP-systemet för elektron-, foton- och lasersimulerade desorptionsstudier och massanalys av lågenergijoner.

 

 

   

Dynamiska masspektrometersystem används för provtagning genom kvantitativ gasanalys vid studier av gasreaktioner, processtyrning on-line, renhetsanalys och mätning av gasers sammansättning.

 

Systemet HPR-20 är ett bänkmonterat, kortmonterat eller konsolmonterat gasanalyssystem för kontinuerlig analys av gaser upp till atmosfärstryck. Hög känslighet och stabilitet kombinerat med det breda dynamiska området gör systemet HPR-20 till en idealisk komponent i laboratoriesystem för gaskromatografi och masspektrometri.

 

 

   

Systemet Hiden EQP är en jonenergianalysator med hög överföringshastighet och en fyrpolig masspektrometer för plasmadiagnos. Spektrometern samlar in masspektra, energispektra och utseendepotentialspektra, så att detaljerad analys av positiva joner, negativa joner, radikaler och neutrala partiklar kan göras. Intensitetstrender kan plottas mot en tidsaxel. Med den snabba datainsamlingen kan transienter och efterglöd studeras. EQP är dessutom lämpligt för jonflödesanalys från jonkällor och driftrör.

 

ESPION från Hiden Analytical är det mest avancerade, exakta och tillförlitliga Langmuir-givare som forskarna idag har tillgång till. ESPION utvecklades av en grupp forskare och ingenjörer, hämtade både från den akademiska världen och från halvledartillverkarna. Därför kan ESPION uppfylla de hårda kraven från både industriella och akademiska användare som behöver snabb, tillförlitlig och exakt plasmadiagnostik. Oberoende utvärdering med tekniker som plasmaoscilleringsgivare, mikrovågsbaserade mätningar och Hidens EQP-massaenergianalysator ger den bästa möjliga konfidensfaktorn för mätningar med Langmuir-givare.

 

 

    Hiden tillverkar moderna sekundära jonmasspektrometrar för statiska och dynamiska SIMS-tillämpningar. Joniserade prover med massor upp till 1000 amu kan analyseras. En inbyggd elektronisk jonkälla används för konventionell restgasanalys (RGA), läcksökning och sekundär neutral masspektrometri (Secondary Neutral Mass Spectrometry - SNMS). EQS har ett högpresterande fyrpoligt trippelfilter och en fältanalysator med 45 graders sektor och fyrpolig DC-ingångsfokuslins. Joner som passerar instrumenten beskriver enkla krökta banor med nästan 100% överföring inom passbandet. EQS har jonenergianalyskapacitet med hög upplösning. Jonräkning från 1 till 2 x 107 cps görs från en högkänslig detektor med låg bakgrundsnivå.

 

 

    Exakta, reproducerbara mönster på halvledare, dielektriska material och metaller är en förutsättning för att kunna göra komponenter och utrustningar med VLSI (very large scale integration). Mönsterkonstruktion med tunna linjer blir allt viktigare när utrustningarnas storlek minskar. Därför måste ändpunktsindikering användas i processen för att undvika underskärning och för att behålla egenskapsstyrningen. Hidens ändpunktsindikering ger automatisk styrning av etsningsdjupet vid jonstråleetsning, reaktiv jonstråleetsning och RIE-tillämpningar.

 

 

   

Hiden Analytical har avancerade provtagningsventiler för alla gasanalysatorer. De är avsedda för process- och miljöövervakning där många provtagningspunkter underhålls av en central analysator. Ventilerna har en patenterad, självkompenserande tätningskonstruktion som ger en god tätning med större livslängd vid automatisk högfrekvensdrift. Ventilerna finns i 20-vägs, 40-vägs och 80-vägsversioner och är lämpliga för nya installationer eller för uppgradering av befintlig analysutrustning.