Instruments Pour la Recherche de Pointe

 

Depuis 30 ans Hiden Analytical est un fournisseur d'instrumentation scientifique et de spectromètres de masse de renommée internationale.

Nous proposons toute une gamme de systèmes pour l'analyse de gaz, du vide et des gaz résiduel, le diagnostic du plasma et l'analyse de surface.

Nous développons en permanence nos instruments et sommes capable de répondre à toute demande particulière.

Notre usine est basée en Angleterre, près de Manchester, mais notre équipe française, basée dans le sud-est, sera là pour répondre à tous vos besoins, aussi bien techniques que commerciaux.

 

 

- Analyse de gaz résiduels (RGA)
- Applications en science UHV
- Analyseur de gaz
- Caractérisation du plasma
- Analyse de surfaces - SIMS
- Sonde de détection de fin de gravure ionique
- Vanne multi-gaz PROTEUS

 

 

Chaque instrument de la gamme d'analyseurs de gaz résiduel de la série Hiden RGA répond à tous les impératifs industriels, que ce soit pour des vérifications de routine pour détecter des fuites et prendre des empreintes de vide ou bien pour le contrôle de contaminants et l'identification de fuites virtuelles en MBE.

 

Pour l'analyse de masse élevée, nos instruments de la série 3F offrent des options de masses allant jusqu'à 1000 uma. La série 3F offre une transmission des hautes masses accrue, une meilleure résistance à la contamination, une stabilité sur le long terme et une sensibilité élevée.

 

 

 

La série HIDEN 3F de spectromètres de masse quadripolaires à triple filtre inclut le système Hiden 3F/PIC avec détecteur à comptage des ions pour des études UHV à cinétique rapide. Le système EPIC pour l'analyse des radicaux et les mesures résolues en temps et le système IDP pour le suivi des études de désorption stimulée par électrons/photons/laser et l'analyse des ions de faible énergie.

 

 

 

Systèmes de spectromètres de masse à échantillonnage en continu pour une analyse quantitative des gaz pour les études environnementales, catalytiques, le contrôle des procédés, l'analyse de la pureté et de la composition des gaz.

 

Le système QGA est un système d'analyse des gaz en continu à des pressions atteignant 2 bar (des versions haute pression sont également disponible). Une grande sensibilité et stabilité et une gamme dynamique étendue font du système HPR-20 le complément idéal des systèmes GC de laboratoire.

 

 

 

Le système HIDEN EQP est un analyseur d'énergie des ions à transmission élevée couplé à un spectromètre de masse quadripolaire conçu pour être utilisé comme outil de diagnostic du plasma. Le spectromètre acquiert des spectres de masse, des spectres d'énergie et des spectres d'apparence des neutres, permettant ainsi une analyse détaillée des ions positifs, des ions négatifs, des radicaux et autres espèces neutres. Le suivi des intensité peuvent être déterminées par rapport au temps. On peut étudier les phénomènes transitoires grâce à une acquisition rapide des données. L'EQP convient également à l'analyse du flux des ions à partir de sources d'ions et de tubes à transit.

 

 

L'ESPION de Hiden Analytical est la sonde de Langmuir la plus précise et la plus moderne qui soit disponible aujourd'hui aux chercheurs. Développée par une équipe expérimentée de scientifiques et d'ingénieurs venant du secteur universitaire ou de la fabrication d'équipements de pointe, l'ESPION est conçu pour faire face aux besoins les plus exigeants d'utilisateurs demandant des diagnostics de plasma rapides, précis et fiables. L'évaluation indépendante des caractéristiques électriques du plasma alliée à l'analyseur de masse/énergie Hiden EQP, assurent une qualité du diagnostic imbattable sur le marché des analyseurs du plasma.

 

 

 

Spectromètres de masse d'ions secondaires de pointe pour des applications en SIMS statique et dynamique. Un vaste choix de canons à ions et de spectromètres de masse pour de analyses jusqu'à 1000 uma. Source à impact électronique intégrée pour l'analyse des espèces neutres secondaires (SNMS). La sonde EQS met en œuvre un triple filtre quadripolaire haute performance et un analyseur électrostatique à 45 degrés avec lentille de mise au point en entrée pour une analyse en masse et en énergie des ions. La sonde MAXIM fournit quant à elle la meilleure sensibilité en mode SIMS et SNMS. Logiciels de contrôle dernier cri de contrôle des paramètres des canons à ions. Option d'imagerie à haute résolution.

 

 

 

Un schéma précis et reproductible des semiconducteurs, diélectriques et métaux est essentiel pour la réalisation de l'intégration à très grande échelle (VLSI) de composants. Une configuration en lignes fines devient d'autant plus important que la taille des dispositifs se réduit. Il est donc reconnu que la détection de fin d'attaque est nécessaire dans le processus de gravure par faisceau ionique pour éviter de creuser et de perdre le contrôle des caractéristiques. Les systèmes de détection finale de Hiden sont dotés d'un contrôle automatique de la profondeur du creux d'attaque du faisceau ionique et des applications RIBE.

 

 

 

Hiden Analytical propose des vannes d'échantillonnage qui mettent en œuvre une technologie de pointe et qui peuvent s'utiliser avec n'importe quel analyseur de gaz. Elles sont destinées aux applications de processus et contrôle liées à l'environnement où de nombreux points d'échantillonnage sont traités par un analyseur central. Les vannes sont dotées d'un arrangement breveté de joints d'étanchéité auto-compensateurs qui offre la meilleure étanchéité possible et une longévité accrue lors des changements de voies fréquents. Ces vannes sont disponibles en modèles 20 voies , 40 voies ou 80 voies et conviennent aux nouvelles installations ainsi qu'à la modernisation d'équipements analytiques existant.