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Analyse de Gaz Résiduels (RGA)

RGA est un terme général pour  des gaz et vapeurs résiduels dans les chambres sous vide et les procédés du vide.


La série de spectromètres de masse quadripolaire Hiden RGA permet une analyse de routine des gaz résiduels en mesurant la pression partielle des espèces critiques à la qualité du vide et au bon fonctionnement des procédés.


Les applications incluent:

  • Détection de fuites
  • Mesure et suivi en temps réel de la qualité du vide
  • Détection de fuites virtuelles
  • Etude de dégazage
  • Cycle d'étuvage et suivi de pompage



Produits


Spectromètres de masse quadripolaires dédiés à l'analyse des gaz résiduels.
Analyseur de gaz résiduel haute pression
Spectromètre de masse à filtre triple de haute performance.
Analyseur de gaz des procédés.
Pièces détachées de spectromètres quadripolaires.



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Notes d'Application


icon Partial Pressure Control in Reactive Sputtering (200K)



Information Technique


icon 3F Series Quadrupole Mass Spectrometer Dimensions (290K)

icon Leak Detection in 3 Clicks with RC RGA Systems (52K)

icon Quadrupole Mass Spectrometers for RGA, Gas Analysis and Process Monitoring (681K)

icon RGA Series Quadrupole Mass Spectrometer Dimensions (44K)



Présentations


icon A Brief Guide to the MASsoft Software (772K)