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Applications en Science UHV

SIMS - que ce soit pour des mesures en profondeur ou de la composition de la surface ainsi que pour l'imagerie isotopique, la station de travail Hiden SIMS fournit un équipement d'analyse complet.


RGA - Les spectromètres de masse quadripolaires de chez Hiden offrent une grande sensibilité pour les applications UHV/XHV les plus exigeantes. Un détecteur à comptage d'ions permet une mesure ultra-sensible et linéaire sur 7 ordres de grandeur en pression partielle.


Etudes de Désorption  à Température Programmée (TPD) - Le spectromètre Hiden 3F/PIC est spécialement configurée pour les mesures de TPD permettant ainsi la détection rapide, sur plusieurs ordres de grandeur en concentration, d'espèces multiples, pour visualiser la désorption complète de l'échantillon. Les données en température sont acquises simultanément et permettent l'affichage des spectres TPD en temps réel.


La sonde de désorption ionique Hiden IDP est un spectromètre de masse quadripolaire configuré pour l'analyse d'ions de faible énergie émis lors des phénomènes de désorption stimulée.



Products


Sonde "prête-à-montée".
Un équipement complet pour l'analyse SIMS.
Détecteur à comptage d'ions et contrôle de la tension de bias du quad.
Spectromètres de Masse à Filtre triple de haute performance
Pour l'étude des phénomènes de désorptions stimulée.
Spectromètres de masse quadripolaires RGA.



Brochures


icon SIMS - Secondary Ion Mass Spectrometers (1676K)



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Notes d'Application


icon Energetic (Fast) Neutral Species Analysis (96K)

icon Energy Distributions of Ions and Atoms from a Magnetron Source (174K)

icon EQP/EQS Time Resolved Studies in Ion Beam Etch and Plasma Processes (248K)

icon EQS vs EPIC - Ion Energy Distributions (272K)

icon Fast Neutrals Analysis (302K)



Informations Techniques


icon Data/Control Inputs and Outputs and Special Applications (18K)

icon EPIC 1000 Series Dimensions (42K)

icon EQS 1000 Series Probe Schematic (80K)

icon EQS 300/500 Series Probe Schematic (54K)

icon SIMS Imaging FoV Schematic (62K)

icon UHV TPD Custom Shrouds (2752K)



Spécification


icon 3F/PIC Systems for UHV Temperature Programmed Desorption (85K)



Présentations


icon IMP End Point Detector System for Ion Beam Etch Applications (279K)

icon SIMS Images (2219K)

icon SIMS Workstation & Bolt-On Components (4320K)