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SIMS

SIMS est la technique d'analyse de surface la plus sensible permettant de déterminer la composition de la surface, l'analyse des contaminants et l'analyse en profondeur des couches atomiques supérieures de tout échantillon solide.

 

Appliqué à l'analyse des quelques premiers microns d'une surface, les systèmes Hiden SIMS permettent l'analyse en profondeur avec une résolution de 5 nanomètres.

 

La station de travail Hiden SIMS permet des analyses SIMS en mode statique et dynamique de haute performance pour obtenir des informations détaillés sur la composition de la surface d'un solide et obtenir des profiles en profondeur.

 

Les instruments SIMS de chez Hiden sont également équipé pour l'imagerie élémentaire permettant d'obtenir une cartographie de la surface de son échantillon élément par élément avec une résolution inégalée.

 

Tout un tas de pièces détachées "prête à monter" sont également disponiblepour utiliser avec d'autres systèmes d'analyse SIMS déjà existant.

 

 

Produits

 

Un système complet d'analyse SIMS.
Sonde "prête à monter".
Pour l'analyse de surface et en profondeur.
Détection en mode "pulse ion counting".
Toute une gamme de composants de spectromètres.

 

 

Brochures

 

icon Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1MB)

icon MAXIM - Quadrupole SIMS Analyser (562K)

icon SIMS Brochure TI 181 (670K)

icon SIMS Brochure TI 181 HiRes (5.64MB)

icon Tour of the Hiden SIMS Workstation (6215K)

 

 

Posters

 

icon Electron Impact Sputtered Neutral Mass Spectrometry (SNMS) using the Hiden EQS Energy Resolving Quadrupole Mass Spectrometer - ROLDUC 2012

icon High Performance SIMS - Mass and Energy Analyser for SIMS (A2)

icon High Performance SIMS - Mass and Energy Analyser for SIMS (A3)

 

 

Présentations

 

icon End Point Detector System for Ion Beam Etch Applications (278K)

icon Low Energy Ne Scattering from Metal Surfaces using MARISS (323K)

icon SIMS Images (2218K)

icon SIMS Workstation and Bolt-On Components (4319K)

 

 

Attention : Vous devez être connectés pour avoir accès aux documents suivants.

 

 

Notes d'Application

 

icon Energetic (Fast) Neutral Species Analysis (98K)

icon EQP/EQS Time Resolved Studies in Ion Beam and Plasma Processes (247K)

icon EQS vs EPIC - Ion Energy Distributions (271K)

icon Secondary Ion Mass Spectrometry - Glass Coatings (30K)

icon Secondary Neutrals Analysis (301K)

icon SIMS - Imaging of Semiconductor Contact Pads (493K)

icon SNMS - Depth Profile of Hard Drive Platter (560K)

icon Sputtered Neutral Mass Spectrometry - Magnetic Layers (89K)

icon Tour of the Hiden SIMS Workstation (6215K)

 

 

Informations Techniques

 

icon EQS 1000 Series Probe Schematic (81K)

icon EQS 300/500 Series Probe Schematic (53K)

icon SIMS Imaging FoV Schematic (61K)

 

 

Spécifications

 

icon IG20 Ion Gun for Dynamic SIMS (61K)