Pour l’étude de l’ensemble des éléments présents dans une enceinte ou obtenus dans votre système

CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD Dépôt sous vide, gravure / érosion par plasma Dépôts après arrachement Etudes de contamination Détection rapide in-situ de la pression de travail Détection de fuites / fuites virtuelles / désorption Dégazage / étuvage / performance de pompage Contaminants de l’enceinte / de gaz lors de procédés

Caractéristiques de l’analyseur de gaz HPR-30, un analyseur de gaz compact pour le contrôle des gaz résiduels et des procédés mettant en oeuvre le vide:

• Structure compacte de l’appareil de paillasse / du chariot mobile / du support de console.
• Orifice direct ré-entrant avec un pompage différentiel permettant une sensibilité et une vitesse de réponse optimales.
• Echantillonnage continu de 1 mbar à 10^-4 mbar.
• Grande sensibilité (jusqu’à 5 ppb), domaine de masse jusqu’à 1000 uma.
• Ionisation douce pour l’analyse de molécules organiques complexes / les études par APMS.
• Stabilité (moins de ±0,5% de variation globale pic à pic sur 24 h).
• Logiciel MASsoft de contrôle via une interface RS232, RS485 ou un réseau Ethernet LAN.
• Vanne pneumatique de contrôle pour un fonctionnement automatique avec annulation manuelle et isolation de sauvegarde en cas de panne d’électricité ou de surpression.
• Acquisition des données et analyse de fonctionnement (panneau d’affichage local des alarmes) automatiques et simultanées.