|
HPR-80, Analyseur Quantitatif de Gaz pour Espèces Réactives |
|
Analyse quantitative rapide des mélanges réactifs ou corrosifs placés dans une enceinte ou obtenus lors de procédés  | - Etudes de la gravure ionique utilisant des ions plasma ou des ions réactifs
- CVD / PVD / MOCVD
- Etudes de fabrication de plaquettes (wafer) de semi-conducteurs
- Procédés sous vide / plasma
- Analyse quantitative des espèces réactives
- Etudes des procédés utilisant : HF, HCl, HBr et les CFC
|
Caractéristiques du HPR-80 Hiden, un appareil spécifiquement conçu pour l’analyse très performante des gaz corrosifs et le contrôle de fabrication de semi-conducteurs et des procédés sous vide: Soufflets flexibles polis électrolytiquement et chauffés, connecteur à montage rapide.Capillaire d’introduction de calibration QIC pour des analyses quantitatives; QIC purgé par flux visqueux de gaz inerte.Grande sensibilité (jusqu’à 5 ppb), domaine de masse jusqu’à 2500 uma.Pression d’échantillonnage : de 1 mTorr jusqu’à la pression atmosphérique. Capacitance manometer for species independent pressure monitoring.Manomètre capacitif pour un contrôle de la pression indépendant des gaz.Stabilité (moins de ±0,5% de variation globale pic à pic sur 24 h).Logiciel MASsoft de contrôle via une interface RS232, RS485 ou un réseau Ethernet LAN.Inversion de matrice, normalisation et utilisation d’un pic simple comme référence.
|
