Le seul outil dédié à la détermination du point d’arrêt pour le contrôle de la gravure ionique pour une qualité optimale des procédés.

La sonde de gravure ionique (IMP) est un spectromètre de masse d’ions secondaires, pompé différentiellement, utilisé pour l’analyse des ions secondaires et des particules neutres émis lors des procédés d'usinage ionique:

• SIMS / MS de grande sensibilité avec système de comptage des ions.
• Triple filtre quadripolaire avec une domaine de masse standard de 300 uma.
• Chambre de pompage différentiel avec bride de montage sur la chambre d’analyse.
• Filtre d’énergie et ioniseur intégrés.
• Jauge de Penning et système de verrouillage pour assurer une protection contre les surpressions.
• Système de données intégré à l’outil d’analyse.
• Stabilité (moins de ±0,5% de variation globale pic à pic sur 24 h).
• Logiciel MASsoft de contrôle via une interface RS232, USB 2.0 ou un réseau Ethernet LAN.
• Programmable DDE, interface numérique parallèle E / S, communication par script selon le protocole RS232.