Spectromètre de masse quadripolaire XBS pour le suivi des procédés d'Epitaxie par Jet Moléculaire (MBE).

Mesure et contrôle de flux pour l'EJM / MBE Etudes de faisceaux moléculaires Analyse de multiples sources à faisceaux croisés Analyseur de gaz résiduels de haute performance Désorption / études de dégazage / cycles d’étuvage Contaminants de l’enceinte / de gaz de procédés Monitorage de flux des cellules à effusion et des sources à bombardement électronique

Caractéristiques des spectromètres de masse Hiden XBS pour les applications scientifiques, les analyses des procédés sous vide et les mesures de flux pour EJM-MBE:

• Grande sensibilité, détection améliorée du produit pur (100%) à 5 ppb, domaine de masse jusqu’à 510 uma.
• Stabilité améliorée sur le long terme (moins de ±0,5% de variation globale pic à pic sur 24 h).
• Source de faisceaux d’ions croisés, angle variable entre +/- 35° par rapport à l'axe transversal.
• Contrôle de la source d’ions pour une ionisation douce et spectrométrie de masse APMS.
• Sensibilité accrue dans le cas des masses élevées, étalonnage automatique de l’échelle de masse.
• Ouverture du faisceau configuré: 2 mm.
• Résistance à la contamination accrue par pré-filtrage RF.
• Enveloppe intégrale compatible UHV refroidie à l’eau.
• Limites de détection jusqu’à 30 ions / s lors des études de faisceaux moléculaires.
• Contrôle de la vitesse de croissance inférieure ou égale à 1Å / min.
• Logiciel MASsoft de contrôle, compatible Windows™ , via une interface RS232, RS485 ou un réseau Ethernet LAN.