Mass spectrometers for vacuum, gas, plasma and surface science

 

Da più di vent'anni, Hiden Analytical è leader a livello internazionale nel design e nella produzione di strumenti scientifici di ricerca, sviluppo e applicazioni produttive. Nel campo dei procedimenti sotto vuoto, di analisi gas, di superficie e con plasma, i nostri spettrometri di massa quadripolari sono apprezzati nel mondo per la loro precisione ed eccezionale prestazione. A completamento dei nostri strumenti analitici, la valvola multi-stream Proteus offre un ineguagliabile livello di prestazione nel campionamento di gas ambientali e industriali.

 

 

   

La serie di analizzatori di gas residui Hiden comprende una gamma di configurazioni quadripolari, a sorgente di ioni e rilevatori, soddisfacendo così ogni tipo di applicazione. A partire dal compatto HALO 100, caratterizzato da pressione parziale discernibile minima di 1 x 10-11mbar, fino al sistema di rilevazione del Moltiplicatore Elettronico a canale singolo / Faraday doppio HAL-201, caratterizzato da pressione parziale discernibile minima di 5 x 10-14mbar, ogni prodotto viene calibrato attraverso un gas di taratura di riferimento standard e un misuratore di ionizzazione standard secondaria.

 

Nella gamma Hiden di Analizzatori di Gas Residui esistono appositi strumenti per soddisfare tutte le esigenze di applicazione, sia che si tratti di ordinari controlli di perdite e sistemi di identificazione sotto vuoto in PVD a semiconduttore e impianto ioni, o di controllo della contaminazione di camera e identificazione di perdita virtuale in MBE.

 

Per l'analisi di alta massa, i nostri strumenti della Serie 3F offrono varie opzioni del campo di massa fino a 1000 amu, rilevatore Moltiplicatore Elettronico analogico / Faraday doppio e una gamma di ionizzatori. La Serie 3F offre maggiore trasmissione di alta massa, migliore resistenza alla contaminazione, stabilità a lungo termine e alta sensibilità di abbondanza.

 

 

    Serie Hiden 3F di spettrometri di massa quadripolari a triplo filtro per l'analisi gas di precisione e applicazioni scientifiche come i sistemi Hiden 3F/PIC con rilevazione di conteggio di ioni pulsati per lo studio di gas UHV a evento rapido, sistemi EPIC per l'analisi di radicali e misurazione a tempo determinato e sistemi IDP per studi di deassorbimento stimolato elettrone/fotone/laser e analisi della massa di ioni a bassa energia.

 

 

   

Sistemi con spettrometro di massa da campionamento dinamico per analisi quantitative di gas per lo studio di reazione a gas, controllo produzione on-line, analisi della purezza e misurazioni della composizione di gas.

 

Il sistema di analisi gas HPR-20 è adatto all'analisi continua di gas a pressioni fino al livello atmosfera e può essere montato su banco o su carrello, oppure può essere configurato su console. L'alta sensibilità e stabilità e l'ampio campo dinamico del sistema HPR-20 lo rendono il complemento ideale dei sistemi di laboratorio GC-MS.

 

 

   

Il sistema Hiden EQP opera come analizzatore cinetico di ioni ad alta trasmissione e spettrometro di massa quadripolare progettato come attrezzatura diagnostica per plasma. Lo spettrometro acquisisce spettri di massa, spettri di energia e spettri di potenziale di soglia e offre così un'analisi dettagliata di ioni positivi, ioni negativi, radicali e neutri. È possibile tracciare diagrammi di trend in intensità rispetto al tempo. Si possono studiare transitori e bagliori residui grazie ad una rapida acquisizione dati. Il sistema EQP è inoltre adatto all'analisi di flusso ionico da sorgenti di ioni e tubi di propagazione.

 

L'ESPION di Hiden Analytical è la sonda Langmuir più avanzata, accurata e affidabile disponibile per la ricerca odierna. Sviluppata da un team di esperti composto di scienziati e ingegneri provenienti dal mondo accademico e da produttori leader nel settore delle attrezzature a semiconduttore, l'ESPION è stata progettata allo scopo di soddisfare le crescenti esigenze di utenti, sia nel settore industriale che in quello accademico, che necessitano di una rapida, affidabile ed accurata diagnostica del plasma. Una valutazione indipendente che si serve di tecniche come Sonda di Oscillazione del Plasma, misurazione basata su micro-onde e l'analizzatore massa/energia EQP Hiden garantisce il miglior livello di sicurezza disponibile nelle misurazioni per sonda Langmuir.

 

 

    Hiden produce spettrometri di massa per ioni secondari di ultimissima concezione per applicazioni SIMS dinamiche e statiche. Si possono analizzare specie ionizzate con masse fino a 1000 amu. Una sorgente di ioni da impatto elettronico integrale viene utilizzata per analisi di gas residui convenzionale, rilevazione perdite e Spettrometria di Massa Neutrale Secondaria (SNMS). Il sistema EQS si serve di un filtro quadripolare triplo ad alta prestazione e di un analizzatore di campo settore 45 con lente di focalizzazione a ingresso quadripolare DC. Gli ioni che passano attraverso lo strumento tracciano semplici traiettorie curve con praticamente il 100% di trasmissione all'interno della fascia di passaggio. Il sistema EQS è caratterizzato da una piena capacità di analisi cinetica di ioni ad alta risoluzione. I conteggi degli ioni da 1 to 2 x 107cps vengono effettuati da un rilevatore fuori asse, a basso fondo e alta sensibilità.

 

 

    Per la realizzazione dell'integrazione su amplissima scala (VLSI) di componenti e dispositivi è essenziale disporre di un'accurata e riproducibile modellatura di semiconduttori, metalli e materiale dielettrico. Con la progressiva riduzione delle misure dei dispositivi diventa sempre più importante disporre di una modellatura a linea fine ed è pertanto indubbio che per evitare fenomeni di sottosquadro e perdite sul controllo delle caratteristiche è necessario effettuare un rilevamento del prodotto finale nei procedimenti. I rilevatori del prodotto finale Hiden offrono un alto controllo automatizzato dell'incisione sia nel caso di incisioni a raggio ionico, incisioni a raggio ionico reattivo e applicazioni RIE.

 

 

   

Hiden Analytical offre valvole per campionamento ad alto livello da utilizzarsi con qualsiasi analizzatore di gas. Concepite per applicazioni di controllo ambientale e industriale dove molti punti campione sono serviti da un analizzatore centrale, le valvole sono dotate di un dispositivo brevettato a chiusura ermetica frontale autocompensante. La chiusura ermetica è caratterizzata da alta impermeabilità e lunga durata per operazioni automatizzate ad alta frequenza. Le valvole sono disponibili nelle versioni 20 vie, 40 vie e 80 vie e sono adatte sia per nuove installazioni sia per attrezzature analitiche esistenti.