Mass spectrometers for vacuum, gas, plasma and surface science

 

Вот уже более 20 лет фирма Hiden Analytical является лидером в разработке и производстве научных приборов на основе квадрупольных масс-спектрометров для науки, исследований и производства. Наши квадрупольные масс-спектрометры получили мировое признание за точность и выдающиеся параметры для анализа газов, плазменных технологий и исследованиях поверхностей. Дополняет аналитические приборы система работы с газовыми потоками Proteus, которая обеспечивает широчайшие возможности для ввода газа из окружающей среды и в производственных процессах.

 

 

   

Серия газонализаторов Hiden RGA предоставляет возможность широкого выбора вариантов квадрупольных масс-анализаторов, ионных источников и детекторов для Ваших приложений. Начиная с компактной система HALO 100 с минимальным пределом обнаружения парциального давления 1x10-11  мБар до системы HAL 201 с двойной системой регистрации (цилиндр Фарадея / канальный электронный умножитель) с пределом обнаружения парциального давления 1x10-14 мБар все приборы прокалиброваны по газу-стандарту и имеют дополнительную ионизационную систему измерения.

 

Каковы бы ни были требования для применения, начиная с обычного течеискания и вакуумных "отпечатков пальцев" в плазменных процессах и ионной имплантации, мониторинге загрязнения вакуумной камеры и обнаружении виртуальной течи в MBE, для каждого из них можно подобрать подходящие компоненты.

 

Для диапазона масс до 1000 аем HAL/3F оснащается двойной системой регистрации (цилиндр Фарадея / канальный электронный умножитель с аналоговым измерением тока), и наиболее подходящим ионизатором. Серия 3F обладает улучшенным разрешением тяжелых масс, устойчивостью к загрязнению, долговременной стабильностью и высокой чувствительностью.

 

 

    Серия 3F тройных квадрупольных масс-спектрометров для прецизионного анализа газов и научных применений включает конфигурацию 3F/PIC со счетным режимом детектирования для для изучения быстропротекающих процессов в сверхвысоком вакууме, EPIC ориентирована на анализ радикалов и позволяет достичь высокого временного разрешения, IDP для изучения десорбции стимулированной электронами, фотонами и лазером и для анализа масс ионов низкой энергии.

 

 

   

Масс-спектрометры с динамическим вводом пробы для количественного газового анализа для исследований реакций, промышленных применений, анализ загрязнения окружающей среды, измерения состава газовых смесей. Hiden HPR-20 в настольном, мобильном или консольном исполнении предназначена для непрерывного измерения газового состава в диапазоне вплоть до атмосферного давления. Высокая чувствительность и стабильность вместе с широким динамическим диапазоном делает HPR-20 иедальным дополнением к лабораторным газовыми хроматографам- масс-спектрометрам (GC-MS).

 

 

   

Hiden EQP - средство диагностики плазмы, в которую входят анализатор энергии ионов с высокой пропускной способностью и квадрупольный масс-спектрометр. Производит измерение масс-спектров, энергетических распределений и спектров кажущихся потенциалов, позволяет проводить измерения нейтралей и радикалов, положительных и отрицательных ионов. Отображаются тренды Интенсивности. Пригоден для анализа потоков от ионных источников и дрейфовых промежутков.

 

Hiden ESPION - лучший на сегодняшний день, самый надежный и точный электростатический зонд Ленгмюра для измерения электрических характеристик процессов в плазме, доступный исследователям. Разработанный командой квалифицированных ученых и инженеров из академической сферы и ведущих производителей полупроводниковых приборов, ESPION разработан для удовлетворения потребностей промышленности и науки в быстром, надежном и точном измерении характеристик плазмы. Дополнительными возможностями прибора являются зонд осцилляций плазмы, измерения на основе микроволн, а Hiden EQP энергомасс-анализатор обеспечивает наиболее достоверные измерения с зондом Ленгмюра.

 

 

 

   

Hiden производит приборы высшего класса для статического и динамического анализа поверхностей вторичными ионами. Диапазон масс ионов простирается до 1000 аем.


Встроенный источник ионов с электронным ударом используется для традиционного газового анализа, течеискания и масс-спектромтерии вторичных нейтралов. Hiden EQS оснащен тройным квадруполным фильтром и анализатором энергии с сектором поля 45° с линзами статической квадрупольной фокусировки. Траектории ионов, прошедших спектромтер, имеют вид простых изогнутых кривых, с почти 100% пропусканием в окрестности прохождения.


EQS имеет возможность получить высокое энергетическое разрешение ионов. Высокочувствительный детектор ионов, находящийся вне оси пучка, обеспечивает счет до 1-2х107 имп/с.

 

 

    При производстве микросхем высокой степени интеграции (VLSI = very large scale integration) необходим постоянный контроль полупроводников, диэлектриков и металлов по поверхности пластины. При повышении степени интеграции, возрастает необходимость во все более точном контроле изображения дорожек. Было установлено, что для избежания потери качества необходима соответствующая система обнаружения окончания травления ионным пучком. Детектор Hiden окончания процесса обеспечивает автоматический контроль глубины травления ионным пучком в процессах прямого травления и с реагентоами, включая RIE.

 

 

   

Hiden Analytical предлагает продвинутые системы клапанов для широкого спектра применений. Они направлены на промышленные приложения и мониторинг окружающей среды, когда много точек пробозабора обслуживаются единым анализатором. Клапаны используют патентованную систему организации самоуплотнения с лицевой стороны, которая обеспечивает высокое качество уплотнения и продолжительную жизнь клапана в условиях частотого срабатывания. Системы клапанов поставляются в вариантах с 20-, 40- и 80 входами, что позволяет использовать их при построении систем с нуля, равно как и при модернизации существующих систем.