製品

ガス分析用の四重極質量分析計

リアルタイムガス分析およびアプリケーション

QGA 大気圧サンプリング、定量ガス分析計
HPR-20 R&D 様々なアプリケーションに対応可能なガス分析計
HPR-20 EGA TGA-MAとして使用可能なガス分析計
HPR-20 TMS パルス反応検出用ガス分析計
QIC Series Inlets 様々な圧力に対応可能なガス分析用インレット
QIC Biostream 多定点ガス分析用インレット/バイオストリーム20/40/80cn
QIC Multistream 多定点ガス分析用インレット/マルチストリーム 2/4/8/16ch
HPR-40 DSA 半透過膜インレット用いたガス分析計
HPR-40 DEMS 電気分解液中のガス分析に適したアタッチメント
HPR-60 MBMS 大気圧プラズマおよび分子ビーム用のイオンエネルギー分析
HPR-70 小容器中のサンプルガス分析
HPR-90 電球内部などの自動ガス分析
Compact Gas Analysers 簡易アプリケーション用

触媒用および昇温脱離ガス分析

触媒研究のための自動昇温ガス分析計

CATLAB-PCS 自動昇温脱離パルスガス分析(マイクロリアクタータイプ)
CATLAB-FB 自動昇温脱離ガス分析(電気炉タイプ)
SpaciMS ハニカム触媒用アプリケーション
TPD Workstation UHV用昇温脱離ガス分析
HPR-20 TMS 高速反応ガス分析用質量分析計
3F-PIC UHV用ガス質量分析計
HPR-60 MBMS 分子ビームサンプリングイオン、ラジカル用質量分析計

薄膜分析および表面分析用質量分析計

RGA、プラズマイオン分析、表面分析、SIMS、エンドポイント検出

HPR-30 プロセスガス分析および残留ガス分析
EQP 正負イオンエネルギーおよび質量分析、中性粒子、ラジカル質量分析計
HPR-60 MBMS 分子ビームサンプリングイオン、ラジカル用質量分析計
PSM プラズマサンプリングガス分析計
ESPion ラングミュアプローブ(プラズマ解析用)
IMP-EPD イオンエッチング終点検出およびプロセスの最適化
XBS MBE フラックス堆積モニター
TPD Workstation UHV用昇温脱離ガス分析
SIMS Workstation UHV フルシステム二次イオン質量分析計 (薄膜分析、スタティックSIMS、デプスプロファイリング、イメージング)
Compact SIMS コンパクト二次イオン質量分析計(ナノメータサイズのデプスプロファイリング)
AutoSIMS 自動制御型SIMS
EQS SIMS Analyser 手持ちのチヤンバーに接続可能なカスタマイズSIMSプローブ
MAXIM SIMS/SNMS分析計(スタティックSIMS、ダイナミックSIMSおよびSNMS)
IG5C 5keVセシウムプリマリーイオンソース(UHV SIMS用)
IG20 5keVアルゴン or 酸素プリマリーイオンソース(UHV SIMS用)

残留ガス分析計

真空チヤンバー内の残留ガス分析、プロセスガス分析

RGA Series 容器中の脱離ガス分析、プロセス中の生成ガス分析
Ion Source Options 様々な電子衝撃イオンソースのラインナップ
HMT 通常の圧力範囲を測定可能なRGAモードと、2桁高い圧力でのデュアルモード測定が可能
HAL 201 RC 残留ガス分析計
HALO 201 MBE MBEアプリケーション用残留ガス分析
HALO 残留ガス分析
3F-PIC パルスカウント検出器搭載した質量分析計(高速反応用)
EPIC イオン、中性粒子およびラジカル質量分析計
IDP イオン、中性粒子およびラジカル質量分析計(イオン集光レンズ搭載)
3F Series 1000 RGA 高分解能質量分析計
XBS MBEフラックス堆積モニター
DLS Series 第二安定領域を用いた超高分解能質量分析計
HAL 101X トカマク/核融合研究

表面分析用質量分析計

表面分析用二次イオン質量分析計、二次中性粒子質量分析計

AutoSIMS 自動制御型SIMS
SIMS Workstation UHV 二次イオン質量分析計 (薄膜分析、スタティックSIMS、デプスプロファイリング、イメージング)
Compact SIMS コンパクト二次イオン質量分析計(ナノメータサイズのデプスプロファイリング)
EQS SIMS Analyser 手持ちのチヤンバーに接続可能なカスタマイズSIMSプローブ
MAXIM SIMS/SNMS分析計(スタティックSIMS、ダイナミックSIMSおよびSNMS)
IG5C 5keVセシウムプリマリーイオンソース(UHV SIMS用)
IG20 5keVアルゴン or 酸素プリマリーイオンソース(UHV SIMS用)