製品

ガス分析用の四重極質量分析計

リアルタイムガス分析およびアプリケーション

QGA 大気圧サンプリング、定量ガス分析計
HPR-20 R&D 様々なアプリケーションに対応可能なガス分析計
HPR-20 EGA TGA-MAとして使用可能なガス分析計
TGA-MS TGAシステム用の接続アタッチメント
HPR-20 TMS パルス反応検出用ガス分析計
QIC Series Inlets 様々な圧力に対応可能なガス分析用インレット
QIC Biostream 多定点ガス分析用インレット/バイオストリーム20/40/80cn
QIC Multistream 多定点ガス分析用インレット/マルチストリーム 2/4/8/16ch
HPR-40 DSA 半透過膜インレット用いたガス分析計
HPR-40 DEMS 電気分解液中のガス分析に適したアタッチメント
HPR-60 MBMS 大気圧プラズマおよび分子ビーム用のイオンエネルギー分析
HPR-70 小容器中のサンプルガス分析
HPR-90 電球内部などの自動ガス分析
Compact Gas Analysers 簡易アプリケーション用

触媒用および昇温脱離ガス分析

触媒研究のための自動昇温ガス分析計

CATLAB-PCS 自動昇温脱離パルスガス分析(マイクロリアクタータイプ)
CATLAB-FB 自動昇温脱離ガス分析(電気炉タイプ)
SpaciMS ハニカム触媒用アプリケーション
TPD Workstation UHV用昇温脱離ガス分析
HPR-20 TMS 高速反応ガス分析用質量分析計
TGA-MS TGA用ガス質量分析計
3F-PIC UHV用ガス質量分析計
HPR-60 MBMS 分子ビームサンプリングイオン、ラジカル用質量分析計

薄膜分析および表面分析用質量分析計

RGA、プラズマイオン分析、表面分析、SIMS、エンドポイント検出

HPR-30 プロセスガス分析および残留ガス分析
EQP 正負イオンエネルギーおよび質量分析、中性粒子、ラジカル質量分析計
HPR-60 MBMS 分子ビームサンプリングイオン、ラジカル用質量分析計
PSM プラズマサンプリングガス分析計
ESPion ラングミュアプローブ(プラズマ解析用)
IMP-EPD イオンエッチング終点検出およびプロセスの最適化
XBS MBE フラックス堆積モニター
TPD Workstation UHV用昇温脱離ガス分析
SIMS Workstation UHV フルシステム二次イオン質量分析計 (薄膜分析、スタティックSIMS、デプスプロファイリング、イメージング)
Compact SIMS コンパクト二次イオン質量分析計(ナノメータサイズのデプスプロファイリング)
AutoSIMS 自動制御型SIMS
EQS SIMS Analyser 手持ちのチヤンバーに接続可能なカスタマイズSIMSプローブ
MAXIM SIMS/SNMS分析計(スタティックSIMS、ダイナミックSIMSおよびSNMS)
IG5C 5keVセシウムプリマリーイオンソース(UHV SIMS用)
IG20 5keVアルゴン or 酸素プリマリーイオンソース(UHV SIMS用)

残留ガス分析計

真空チヤンバー内の残留ガス分析、プロセスガス分析

RGA Series 容器中の脱離ガス分析、プロセス中の生成ガス分析
Ion Source Options 様々な電子衝撃イオンソースのラインナップ
HMT 通常の圧力範囲を測定可能なRGAモードと、2桁高い圧力でのデュアルモード測定が可能
HAL 201 RC 残留ガス分析計
HALO 201 MBE MBEアプリケーション用残留ガス分析
XBS MBEフラックス堆積モニター
qRGA トカマクおよび融合炉研究用質量分析計
3F Series 1000 RGA 高分解能質量分析計
DLS-20 第二安定領域を用いた超高分解能質量分析計
3F-PIC パルスカウント検出器搭載した質量分析計(高速反応用)
EPIC イオン、中性粒子およびラジカル質量分析計
IDP イオン、中性粒子およびラジカル質量分析計(イオン集光レンズ搭載)

表面分析用質量分析計

表面分析用二次イオン質量分析計、二次中性粒子質量分析計

AutoSIMS 自動制御型SIMS
SIMS Workstation UHV 二次イオン質量分析計 (薄膜分析、スタティックSIMS、デプスプロファイリング、イメージング)
Compact SIMS コンパクト二次イオン質量分析計(ナノメータサイズのデプスプロファイリング)
EQS SIMS Analyser 手持ちのチヤンバーに接続可能なカスタマイズSIMSプローブ
MAXIM SIMS/SNMS分析計(スタティックSIMS、ダイナミックSIMSおよびSNMS)
IG5C 5keVセシウムプリマリーイオンソース(UHV SIMS用)
IG20 5keVアルゴン or 酸素プリマリーイオンソース(UHV SIMS用)