Hiden HPR-30, analizador de gases obtenido durante procesos

Para estudio del conjunto de elementos presentes en una cámara u obtenidos en su sistema.
 

• CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
• Deposición al vacío, grabado, erosión por plasma.
• Deposición después de arrancamiento.
• Estudios de contaminación.
• Detección rápida in-situ de la presión de trabajo.
• Detección de fugas / fugas virtuales / deserción.
• Contaminantes de la cámara /de gases durante los procesos

 

Características del analizador de gas HPR-30, un analizador de gases compacto para el control de gases residuales y de los procesos relacionados con el vacío:

 

• Estructura compacta del aparato / del carro móvil / del soporte / de la consola.
• Orificio directo de reentrada con bombeo diferencial permitiendo una sensibilidad y una rapidez de respuesta optimas.
• Muestreo continuo de 1 mbar a 10^-4 mbar.
• Gran sensibilidad (hasta 5 ppb), rango de masa hasta 1000 uma.
• Ionización suave para el análisis de moléculas orgánicas complejas / estudios pos APMS
• Stabilité (moins de ±0,5% de variation globale pic à pic sur 24 h).
• Software MASsoft HMT de control mediante interface RS232, RS485 o red Ethernet LAN.
• Válvula neumática de control para funcionamiento automático con anulación manual y aislamiento de seguridad en caso de avería eléctrica o de sobre presión.
• Adquisición de datos y análisis de funcionamiento (panel de visualización local de alarmas automáticas y simultaneas)

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