Analizadores de Gases Residuales– RGA

• RGA para el análisis del vacío y la detección de fugas.
• HMT, RGA alta presión para el análisis del vacío y el control de los procesos.
• HPR-30, RGA de bombeo diferencial para el análisis de vacío, el control de procesos y la detección de fugas.
• HPR-80, RGA para el análisis cuantitativa de procesos en vacío y especies reactivas / corrosivas.

Espectrómetros de Masas Cuadrupolares de Triple Filtro

• 3F, RGA de triple filtro.
• PIC, espectrómetros de masas con conteo de impulsos de iones.
• EPIC, espectrómetros de masas con conteo de impulsos de iones y control de polarización.
• Componentes de espectrómetros de masas cuadrupolares.

Aparatos de control de Procesos

• XBS – MBE, aparato de control / vigilancia de la velocidad de deposición por haz cruzado (XBS) y por epistaxis por haz molecular (MBE).
• IMP (sonda de grabado iónico) y detector de fin de ataque durante el grabado iónico.

Analizadores de gases de laboratorio

• QIC-20, Analizador de gas / vapor tipo laboratorio.
• Hydra, analizador de chorros múltiples de gas / vapor.

Analizadores de gases de investigación

• HHPR-20 QIC, sistema a nivel de investigación para l análisis en continuo de muestras de gas / vapor.
• HPR-40, analizador de especies disueltas.
• HPR-50, analizador de deposiciones de diamantes para CVD.
• HPR-60, aparato de medida de muestras de haces moleculares neutros, ionizados o radicales.
• HPR-70, analizador de gases para introducción de muestras en serie.
• HPR-90, analizador de gases en ampollas selladas con sistema completo de rotura de ampolla de gas.
• QIC-100, aparato de análisis en continuo de muestras de gas/vapor, rango de masa hasta 1000 uma.

Válvulas de muestreo de gas

• Proteus, válvula de chorros múltiples, versión 40 y 80 vías.
• Rampa provista de válvulas con chorros múltiples (8 vías) – versiones calefaccionadas y no calefaccionadas.

Características del Catalizador

• CATLAB, un micro reactor integrado y un espectrómetro de masas, para le caracterización del catalizador y el seguimiento In situ del funcionamiento del catalizador.

Ciencias de Superficies

• EQS SIMS (espectrómetro de masa de iones secundarios), sondas para análisis de superficie “listas para montaje”.
• IG, cañones de iones / bombardeo con átomos rápidos (FAB).
• SIMS- puesto de trabajo : un instrumento completo de análisis SIMS.
• IDP, analizador de iones y de partículas neutras para los estudios de desorción inducida por electrones y fotones

Caracterización de Plasma

• EQP, analizador de masas / de energías en un sector de 45þ para iones y partículas neutras y radicales
• PSM, analizador plasma en línea, para iones y partículas neutras y radicales.
• ESPION, sondas de langmuir perfeccionadas para la caracterización eléctrica de plasmas.
• HPR100, puesto de trabajo plasma, un sistema completo de reactor de plasma con análisis integral de los plasma.