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Hiden IMP, Sonde de Gravure Ionique – Détecteur
de Fin d'Attaque |
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Le seul outil dédié à la détermination
du point d’arrêt pour le contrôle de la gravure
ionique avec une qualité optimale des procédés.
- Analyse de fin d'attaque
- Détermination des impuretés de cible
- Contrôle de qualité / contrôle statistique
de procédé (SPC)
- Analyse des gaz résiduels
- Détection des fuites
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Caractéristiques de la sonde de gravure
ionique (IMP) à pompage différentiel, spectromètre
de masse d’ions secondaires renforcé utilisé
pour l’analyse des ions secondaires et des particules neutres
émis lors de procédés de la gravure ionique:
- SIMS / MS de grande sensibilité avec système
de comptage des impulsions d’ions
- Triple filtre quadrupolaire, domaine de masse standard :
300 uma
- Rampe à pompage différentiel avec bride de
montage vers la chambre d’analyse
- Optiques ioniques avec analyseur d’énergie et
ioniseur intégral
- Jauge de Penning et système de verrouillage pour assurer
une protection contre les surpressions
- Système de données intégré à
l’outil d’analyse
- Stabilité (moins de ±0,5% de variation globale
pic à pic sur 24 h)
- Logiciel MASsoft de contrôle via une interface RS232,
RS485 ou un réseau Ethernet LAN
- Programmable DDE, interface numérique parallèle
E / S, communication par script selon le protocole RS232
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