Hiden HPR-50, Analyseur de Gaz pour Dépôt de Diamant par CVD

Analyse inférieure au ppm de tous les composants et sous-produits de procédés de croissance du diamant.

• CVD
• PECVD
• Contrôle des procédés / surveillance en ligne et en temps réel
• Etudes de contamination
• Analyse des sous-produits
• Pour une meilleure reproductibilité et qualité des produits

 

Caractéristiques du spectromètre de masse HPR-50 à séparation de voies, un analyseur de gaz sur mesure dédié au contrôle des procédés de croissance de l’épaisseur de diamant::

 

• Tube d’introduction à séparation de voies à réponse ultra-rapide pour l’échantillonnage de faisceaux moléculaires
• Grande sensibilité (jusqu’à 5 ppb), domaine de masse jusqu’à 2500 uma
• Tuyau d’introduction inerte chauffé pour caractériser les intermédiaires réactionnels et les produits
• Pièges cryogéniques à azote liquide pour un vide optimal / des interférences minimales entre spectres
• Jauge de Penning et système de verrouillage pour assurer une protection contre les surpressions
• Pression d’échantillonnage de 20 à 400 Torr
• Stabilité (moins de ±0,5% de variation globale pic à pic sur 24 h)
• Logiciel MASsoft de contrôle, via une interface RS232, RS485 ou un réseau Ethernet LAN
• Ionisation douce pour l’analyse de molécules organiques complexes et les études par APMSs.

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