Hiden IG20, Canon à Ions

Canon à ion à la pointe du progrès pour l’analyse de surface et en profondeur.

• SIMS statique et dynamique
• Spectroscopie d’électrons Auger
• Erosion par faisceau ionique
• Science des surfaces
• Balayage / profil en profondeur

 

Caractéristiques du canon à ions Hiden IG20 pour la spectrométrie de masse SIMS statique et dynamique:

 

• Faisceau d’ions intense, diamètre du spot : 100µm, énergies : 0,5 à 5 keV
• Densité de courant élevée, jusqu’à 4,5 mA/cm²
• Source ionique à impact d’électrons avec possibilité d’argon ou d’oxygène
• Instrument optique de redirection du faisceau pour une diffusion sur l’axe et un balayage xy du faisceau pour l’obtention de profils de profondeur
• Déplacement de 3° de la colonne du canon à ions pour un rejet optimal des particules neutres
• Système de suppression du faisceau pour un arrêt rapide du faisceau dans les applications de balayage
• Pompage différentiel de la source, pour une consommation réduite de gaz dans l’enceinte
• Montage de filaments doubles facile à remplacer
• Vitesse de balayage jusqu’à 64µs
• Utilisation combinée des sondes SIM et EQS pour un contrôle direct de la vitesse et de la surface de balayage

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