Poste de Travail SIMS avec Analyseur de Masse / d’Energie Ionique EQS

Une station d’analyse SIMS robuste et d’usage général.

• Remplacement rapide des échantillons de tous types
• SIMS statique et dynamique
• Ioniseur intégral pour analyseurs de gaz résiduels (RGA) et spectrométrie de masse d’ions secondaires neutralisés (SNMS)
• Modification de surface / études de balayage
• Balayage / imagerie de surface SIMS
• Analyse de contamination de surface

 

Caractéristiques du poste de travail SIMS Hiden, un appareil intégré UHV / SIMS pour l’analyse approfondie des surfaces:

 

• Analyseur Hiden SIMS EQS opérant sous le logiciel MASsoft pour l’analyse au ppb
• Analyseur de masse et d’énergie pour les ions positifs et négatifs, les neutres et les radicaux
• Choix entre le canon à ion Hiden IG20 à pompage différentiel, le FAB IFG200 ou des canons à gallium liquide de haute performance comme source d’excitation primaire
• Contrôle intégral du balayage du canon à ion, avec porte d’acquisition du signal pour les profils en profondeur
• Possibilité d’un canon à électrons pour la neutralisation de la charge lors des études d’isolants
• Piège cryogénique à azote liquide et filaments chauffants d’étuvage dans la chambre à vide
• Transfert rapide d’échantillons, support d’échantillon et manipulateur avec sas de chargement
• Manipulateur compatible UHV avec 4 axes, X, Y, Z et thêta pour un positionnement optimal de l’échantillon
• Possibilité d’imagerie locale SIMS avec le programme d’imagerie ESM LabVIEW SIMS
• Possibilité d’une bibliothèque de spectres de SIMS statique
• Réglage automatique de la lentille d'optique ionique SIMS et étalonnage automatique de l’échelle de masse pour des performances optimales en SIMS

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