Hiden EQP, Analyseur de Masse et d’Energie pour l’Analyse du Plasma

Analyse de masse entièrement résolue en énergie et analyse d’énergie entièrement résolue en masse de toutes les espèces présentes dans votre plasma.

• Etudes d’érosion / de dépôt
• Implantation ionique / ablation laser
• Analyse de gaz résiduels / détection de fuites
• Couplage électrode plasma – suivi de l’état de l’électrode en fonctionnement
• Analyse à travers une fenêtre, électrode de masse, électrode de commande

 

Caractéristiques de l’analyseur combiné masse / énergie Hiden EQP pour l’analyse des ions positifs et négatifs et des particules neutres et radicalaires lors de procédés plasma:

 

• Optiques d’extraction d’ions contrôlées par logiciel pour une perturbation minimale du plasma
• Analyseur à secteur électrostatique de 45°, incrément de balayage en énergie : 0,05eV et 0,25eV de largeur à mi-hauteur
• Perturbation minimale de la trajectoire des ions et transfert constant d’ions à toutes les énergies
• Triple filtre quadrupolaire à pompage différentiel, domaine de masse jusqu’à 2500uma
• Comptage des impulsions d’ions de grande sensibilité et stabilité, domaine dynamique de 7 décades
• Ioniseur intégral réglable pour spectrométrie de masse APMS avec possibilité de capture d’électrons
• Jauge de Penning et système de verrouillage pour assurer une protection contre les surpressions
• Résolution / porte d’acquisition du signal : 1µs pour les plasmas pulsés ou la distribution d’énergie et de masse en fonction du temps
• Option 1000eV, option flottante jusqu’à 10keV, option capteur de Faraday pour les plasmas de haute densité
• Possibilité d’écran en mu-métal ou radio-métal, option pour un fonctionnement à haute pression
• Logiciel MASsoft de contrôle, via une interface RS232, RS485 ou un réseau Ethernet LAN

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