Hiden HPR-30, Analyseur de Gaz obtenus lors de Procédés

Pour l’étude de l’ensemble des éléments présents dans une enceinte ou obtenus dans votre système
 

• CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
• Dépôt sous vide, gravure / érosion par plasma
• Dépôts après arrachement
• Etudes de contamination
• Détection rapide in-situ de la pression de travail
• Détection de fuites / fuites virtuelles / désorption
• Dégazage / étuvage / performance de pompage
• Contaminants de l’enceinte / de gaz lors de procédés

 

Caractéristiques de l’analyseur de gaz HPR-30, un analyseur de gaz compact pour le contrôle des gaz résiduels et des procédés mettant en oeuvre le vide:

 

• Structure compacte de l’appareil de paillasse / du chariot mobile / du support de console.
• Orifice direct ré-entrant avec un pompage différentiel permettant une sensibilité et une vitesse de réponse optimales.
• Echantillonnage continu de 1 mbar à 10^-4 mbar.
• Grande sensibilité (jusqu’à 5 ppb), domaine de masse jusqu’à 1000 uma.
• Ionisation douce pour l’analyse de molécules organiques complexes / les études par APMS.
• Stabilité (moins de ±0,5% de variation globale pic à pic sur 24 h).
• Logiciel MASsoft de contrôle via une interface RS232, RS485 ou un réseau Ethernet LAN.
• Vanne pneumatique de contrôle pour un fonctionnement automatique avec annulation manuelle et isolation de sauvegarde en cas de panne d’électricité ou de surpression.
• Acquisition des données et analyse de fonctionnement (panneau d’affichage local des alarmes) automatiques et simultanées.

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