Hiden ESPION, Sonde de Langmuir perfectionnée pour l’Analyse du Plasma

La sonde de Langmuir la plus perfectionnée et la plus fiable pour:

• Erosion/gravure, dépôt et nettoyage par plasma
• Procédés d’impulsions plasma
• Collecte d’ions (Ni et Gi)
• Ralentissement des électrons (Te et FDEE)
• Collecte d’électrons (Ne)
• Potentiel du plasma
• Longueur de Debye, potentiel flottant

 

Caractéristiques de la sonde de Langmuir perfectionnée ESPION, pour des analyses de plasma rapides, fiables et précises dans l’industrie ou la recherche:

 

• Vitesse d’acquisition : 15 balayages / s, interface D-O-E pour des analyses automatiques, semi-automatiques et manuelles
• Hiden étant un pionnier dans la compensation radio-fréquence passive, la sonde ESPION possède l’impédance de blocage la plus forte parmi tous les appareils commercialisés (4.25Mohm à 13.56MHz cf. 100kohm)
• Chaîne de refroidissement du gaz à inducteurs multiples pour un fonctionnement à haute température du plasma, remplaçable par l’utilisateur et permettant un réglage à d’autres fréquences
• La sonde de référence compense les effets de basse fréquence, par ex. : variation de potentiel du plasma (par ex. : parois de l’enceinte anodisées) ou bruit de fond (par ex. : alimentation électrique)
• ESPION possède les spécifications d’impulsions plasma les plus rapides de toutes les sondes commercialisées, la version standard d'ESPsoft comporte tous les circuits de commandes nécessaires
• Possibilités d’un entraînement linéaire automatique 300, 600 ou 915mm, d’une vanne d’isolation verrouillée, de sondes à 90° et d’un entraînement combiné linéaire - rotatif
• Cycle d’auto-nettoyage pour limiter la contamination de la pointe de la sonde
• Logiciel ESPsoft de contrôle, via une interface RS232, RS485 ou un réseau Ethernet LAN

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