HPR-80, Analyseur Quantitatif de Gaz pour Espèces Réactives / Corrosives

Analyse quantitative rapide des mélanges réactifs ou corrosifs placés dans une enceinte ou obtenus lors de procédés

• Etudes de la gravure ionique utilisant des ions plasma ou des ions réactifs
• CVD / PVD / MOCVD
• Etudes de fabrication de plaquettes (wafer) de semi-conducteurs
• Procédés sous vide / plasma
• Analyse quantitative des espèces réactives
• Etudes des procédés utilisant : HF, HCl, HBr et les CFC

 

Caractéristiques du HPR-80 Hiden, un appareil spécifiquement conçu pour l’analyse très performante des gaz corrosifs et le contrôle de fabrication de semi-conducteurs et des procédés sous vide:

 

• Soufflets flexibles polis électrolytiquement et chauffés, connecteur à montage rapide.
• Capillaire d’introduction de calibration QIC pour des analyses quantitatives; QIC purgé par flux visqueux de gaz inerte.
• Grande sensibilité (jusqu’à 5 ppb), domaine de masse jusqu’à 2500 uma.
• Pression d’échantillonnage : de 1 mTorr jusqu’à la pression atmosphérique.
• Manomètre capacitif pour un contrôle de la pression indépendant des gaz.
• Stabilité (moins de ±0,5% de variation globale pic à pic sur 24 h).
• Logiciel MASsoft de contrôle via une interface RS232, RS485 ou un réseau Ethernet LAN.
• Inversion de matrice, normalisation et utilisation d’un pic simple comme référence.

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