Hiden EPIC, Systèmes avec Comptage des Impulsions d’Ions et Contrôle de Référence de Tension

Spectromètres de masse quadrupolaires à triple filtre pour analyses précises des gaz et applications scientifiques.

• Neutres, radicaux, ions positifs et négatifs.
• Etudes des liaisons d’électrons.
• Science des surfaces, études de faisceaux moléculaires.
• Désorption utilisant un programme de température en UHV.
• Analyseur de gaz résiduels de haute performance.
• Désorption / études de dégazage / cycles d’étuvage.
• Contaminants de l’enceinte / de gaz lors de procédés.

 

Caractéristiques des spectromètres de masse Hiden EPIC pour des applications scientifiques et procédés de haute précision et l’analyse des neutres, radicaux et ions en UHV:

 

• Grande sensibilité, détection améliorée du produit pur (100%) jusqu’à 5 ppb
• Domaine de masse jusqu’à 2500 uma, diamètre de pôle : 6, 9 ou 12 mm
• Stabilité améliorée sur le long terme (moins de ±0,5% de variation globale pic à pic sur 24 h)
• Distribution d’énergie ionique par balayage du potentiel de tension de référence du quadrupolaire : ±100 V, option 1000 eV
• Contrôle de la source d’ions pour une ionisation douce et spectrométrie de masse APMS
• Sensibilité accrue dans le cas des masses élevées, étalonnage automatique de l’échelle de masse
• Système de comptage des impulsions d’ions pour un domaine dynamique de 7 décades en continu, option Faraday jusqu’à 5x10¹⁰
• Résistance à la contamination accrue par pré-filtrage RF
• Résolution / porte d’acquisition du signal : 1 µs pour l’obtention des distributions d’énergie et de masse en fonction du temps ou pour des études de temps de vol (TOF)
• Lecture de la température intégrée dans l’affichage de données pour les applications en désorption thermique
• Enveloppe intégrale compatible UHV, possibilité d’une enveloppe refroidie à l’azote liquide
• Logiciel MASsoft de contrôle via une interface RS232, RS485 ou un réseau Ethernet LAN
• Possibilité d’évolutivité vers des spécifications plasma / SIMS

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