Hiden XBS MBE, Système de Mesure et de Contrôle de la Vitesse de Dépôt pour Epitaxie par Jets Moléculaire (EJM)- Analyseur à Faisceaux Croisés (XBS)

Spectromètres de masse quadrupolaires à triple filtre avec XBS pour analyses précises de gaz et applications scientifiques.

• Mesure et contrôle de flux pour EJM/MBE
• Etudes de faisceaux moléculaires
• Analyse de multiples sources à faisceaux croisés
• Analyseur de gaz résiduels de haute performance
• Désorption / études de dégazage / cycles d’étuvage
• Contaminants de l’enceinte / de gaz de procédés
• Monitorage de flux des cellules à effusion et
  des sources à bombardement électronique

 

Caractéristiques des spectromètres de masse Hiden XBS pour les applications scientifiques, les analyses des procédés sous vide et les mesures de flux pour EJM-MBE:

 

• Grande sensibilité, détection améliorée du produit pur (100%) à 5 ppb, domaine de masse jusqu’à 510 uma
• Stabilité améliorée sur le long terme (moins de ±0,5% de variation globale pic à pic sur 24 h)
• Source de faisceaux d’ions croisés, angle variable entre +/- 35° par rapport à l'axe transversal
• Contrôle de la source d’ions pour une ionisation douce et spectrométrie de masse APMS
• Sensibilité accrue dans le cas des masses élevées, étalonnage automatique de l’échelle de masse
• Ouverture du faisceau configuré: 2 mm
• Résistance à la contamination accrue par pré-filtrage RF
• Enveloppe intégrale compatible UHV refroidie à l’eau
• Limites de détection jusqu’à 30 ions / s lors des études de faisceaux moléculaires
• Contrôle de la vitesse de croissance inférieure ou égale à 1Å / min
• Logiciel MASsoft de contrôle, compatible Windows™ , via une interface RS232, RS485 ou un réseau Ethernet LAN

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