Analyseurs de Gaz Résiduels– RGA

• RGA pour l’analyse du vide et la détection de fuites.
• HMT, RGA haute pression pour l’analyse du vide et le contrôle des procédés.
• HPR-30, RGA à pompage différentiel pour l’analyse du vide, le contrôle des procédés et la détection de fuites.
• HPR-80, RGA pour l’analyse quantitative des procédés sous vide et des espèces réactives / corrosives.

Spectromètres de Masse Quadrupolaires à Triple Filtre

• 3F, RGA à triple filtre.
• PIC, spectromètres de masse avec comptage des impulsions d’ions.
• EPIC, spectromètres de masse avec comptage des impulsions d’ions et contrôle de polarisation.
• Composants des spectromètres de masse quadrupolaires.

Appareils de Contrôle des Procédés

• XBS – MBE, appareil de contrôle / surveillance de la vitesse de dépôt par faisceau croisé (XBS) et par épitaxie par faisceau moléculaire (MBE).
• IMP (sonde de la gravure ionique) et détecteur de fin d'attaque lors de la gravure ionique.

Analyseurs de Gaz de Laboratoire

• QIC-20, analyseur de gaz/vapeur de type laboratoire.
• Hydra, analyseur de jets multiples de gaz/vapeur.

Analyseurs de Gaz de Recherche

• HPR-20 QIC, système de niveau recherche pour l’analyse en continu d’échantillons de gaz/vapeur.
• HPR-40, analyseur d’espèces dissoutes.
• HPR-50, analyseur de dépôts de diamant par CVD.
• HPR-60, appareil de mesure des échantillons de faisceaux moléculaires neutres, ionisés ou radicalaires.
• HPR-70, analyseur de gaz à introduction pour échantillons en série.
• HPR-90, analyseur de gaz en ampoules scellées avec système complet de rupture d’ampoule de gaz.
• QIC-100, appareil d’analyse en continu d’échantillons de gaz/vapeur, domaine de masse jusqu’à 1000 uma.

Vannes d’Echantillonnage de Gaz

• Proteus, vanne à jets multiples, versions 40 et 80 voies.
• Rampe munie de vannes à jets multiples (8 voies) – versions chauffée et non chauffée.

Caractérisation de Catalyseur

• CATLAB, un microréacteur intégré et un spectromètre de masse, pour la caractérisation de catalyseur et le suivi in-situ de l’activité du catalyseur.

Science des Surfaces

• EQS SIMS (spectromètre de masse d’ions secondaires), sondes pour analyse de surface «prêtes à monter».
• IG, canons à ions / à bombardement par atome rapide (FAB).
• SIMS - poste de travail : un instrument complet d’analyse SIMS.
• IDP, analyseur d’ions et de particules neutres pour les études de désorption induite par des électrons et des
  photons.

Caractérisation Plasma

• EQP, analyseur de masse / d’énergie dans un secteur de 45° pour les ions et les particules neutres et radicalaires.
• PSM, analyseurs plasma en ligne, pour les ions et les particules neutres et radicalaires.
• ESPION, sondes de Langmuir perfectionnées pour la caractérisation électrique des plasmas.
• HPR-100, poste de travail plasma, un système complet de réacteur à plasma avec analyse intégrale des plasmas.