reference Data
Residual Gas Analysis
   
 

MASsoft Control Systems

Cracking patterns for gases and vapours

 

 

Name

Formula

peak 1

peak 2

peak 3

rel sens
m/z % m/z % m/z %
                 
1 acetone C3H6O 43 100 58 33 15 20 3.6
                 
2 air   28 100 32 27 14 6 1.0
                 
3 ammonia NH3 17 100 16 80 15 8 1.3
                 
4 argon Ar 40 100 20 16 36 0.3 1.2
                 
5 benzene C6H6 78 100 77 19 52 16 5.9
                 
6 boron trichloride BCl3 81 100 83 65 35 29 1.0
                 
7 carbon dioxide CO2 44 100 16 9 28 8 1.4
                 
8 carbon monoxide CO 28 100 12 5 16 2 1.05
                 
9 carbon tetrafluoride CF4 69 100 50 12 19 7 1.0
                 
10 diborane B2H6 26 100 27 97 24 90 1.0
                 
11 ethane C2H6 28 100 27 33 30 26 2.6
                 
12 ethanol C2H5OH 31 100 45 51 29 30 3.6
                 
13 Fomblin oil   69 100 20 28 16 16 1.0
                 
14 Freon 12 CCl2F2 85 100 87 32 50 16 2.7
                 
15 helium He 4 100         0.14
                 
16 hydrogen H2 2 100 1 2     0.44
                 
17 hydrogen chloride HCl 36 100 38 32 35 17 1.6
                 
18 hydrogen sulphide H2S 34 100 32 44 33 42 2.2
                 
19 isopropyl alcohol C3H7OH 45 100 43 14 27 9 1.0
                 
20 krypton Kr 84 100 86 31 82 21 1.7
                 
21 methane CH4 16 100 15 85 14 16 1.6
                 
22 methanol CH3OH 31 100 32 67 29 65 1.8
                 
23 neon Ne 20 100 22 10 21 0.3 0.23
                 
24 nitrogen N2 28 100 14 5 29 1 1.0
                 
25 oxygen O2 32 100 16 9     0.86
                 
26 phosphine PH3 34 100 33 33 31 32 2.6
                 
27 pump oil   57 100 55 73 43 73 1.0
                 
28 silane SiH4 30 100 31 78 29 29 1.0
                 
29 silicon tetrafluoride SiF4 85 100 86 5 28 4 1.0
                 
30 sulphur dioxide SO2 64 100 48 50 32 10 2.1
                 
31 water H2O 18 100 17 21 16 2 0.9
                 
32 xenon Xe 132 100 129 98 131 79 3.0
 

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