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Massenspektrometer für die Gasanalyse

Gasanalyse in Echtzeit mit vielfältigen Anwendungsgebieten

QGA Quantitative Gasanalyse
Kompaktes Gasanalysesystem Für Standard-Applikationen
HPR-20 R&D Spezial-Gasanalysesystem für Forschungsanwendungen
HPR-20 EGA Gasanalyse für EGA in Thermogravimetrie-Systemen
HPR-20 TMS Transient-Massenspektrometer für die Analyse von schnellen Ereignissen
HPR-20 DLS Für ultrahohe Auflösung und hochempfindliche Analyse von Wasserstoffisotopen und leichten Gasen
HPR-20 EPIC Mit Ionisationsmodi Elektronenstoß / Elektronenanlagerung
HPR-20 S1000 Mit 1000 amu Massenbereich
QIC BioStream Multistrom-Gas- und Dampfanalysator für die Analyse von Gasen aus Fermentatoren
QIC MultiStream Integriertes Massenspektrometer mit Umschaltventil für die automatisierte Analyse von verschiedenen Strömen
HPR-40 DSA Membraneinlass-Massenspektrometer für die Analyse von gelösten Spezies
HPR-40 DEMS Systeme für die Analyse von gelösten und entstehenden Gasen bei elektrochemischen Anwendungen
HPR-60 MBMS Molekularstrahl-Massenspektrometer für die Analyse von Ionen und Radikalen
HPR-70 Gasanalyse-System für die Analyse von diskreten Gasproben
HPR-90 Automatische Analyse von Gasen in versiegelten Volumina, z.B. Glühbirnen
QIC Series Inlets Hiden bietet eine Auswahl an Einlassvarianten für Gasanalysatoren der QIC-Serie

Massenspektrometer für Katalyse & Thermische Analyse

Automatische Mikroreaktoren und Massenspektrometer für die Katalyse-Forschung

CATLAB-PCS Automatisiertes Mikroreaktor/Massenspektrometer-System
CATLAB-FB Massenspektrometersystem mit horizontalem Ofen für die Analyse von Katalysator-Monolithen
HPR-20 TMS Transient-Massenspektrometer für die Analyse von schnellen Ereignissen
HPR-20 EGA Gasanalyse für EGA in Thermogravimetrie-Systemen
SpaciMS Kapillareinlass-Massenspektrometer für räumlich aufgelöste Analysen
TPD Workstation Für Temperatur-Programmierte Desorption (TPD) im UHV
3F-PIC Transient-Massenspektrometer für die Analyse von schnellen Ereignissen im UHV
HPR-40 DEMS Systeme für die Analyse von gelösten und entstehenden Gasen bei elektrochemischen Anwendungen

Massenspektrometer für Dünnfilme, Plasma- und Oberflächenuntersuchungen

RGA, Plasmaionen-Analyse, Oberflächenanalyse und Endpunkterkennung mittels SIMS

HPR-30 Prozess- und Restgasanalyse
EQP Analyse von positiven und negativen Ionen, Neutralen und Radikalen
HPR-60 MBMS Molekularstrahl-Massenspektrometer für die Analyse von Ionen und Radikalen
PSM Massenspektrometer für die Plasma-Analyse
ESPion Langmuir-Sonde für die Messung der Plasma-Parameter
IMP-EPD Für die Überwachung von Ionenstrahl-Ätzprozessen und optimale Prozesskontrolle
XBS Analysator für die Überwachung der Flussrate in MBE-Prozessen
TPD Workstation Für TPD-Studien im UHV
SIMS Workstation UHV-SIMS-Instrument für Dünnfilm- und Oberflächenanalyse, Statische SIMS, Tiefenprofilanalyse und SIMS-Bildgebung
Compact SIMS Kompaktes SIMS Instrument optimiert für Tiefenprofilanalysen im Nanometerbereich
AutoSIMS Automatisches Oberflächenanalysesystem
EQS SIMS Analyser SIMS-Analyse-Modul zum Anflanschen für die Analyse von sekundären +ve und -ve Ionen fester Proben
MAXIM SIMS/SNMS-Analysator für statische und dynamische SIMS- und SNMS-Untersuchungen
IG5C Eine 5keV Primärionenquelle mit Cäsium-Ionen für die Oberflächenanalyse im UHV
IG20 Eine 5keV Primärionenquelle mit Argon- oder Sauerstoffionen für die Oberflächenanalyse im UHV

Massenspektrometer für die Restgasanalyse

Analyse von Gasen und flüchtigen Spezies in Vakuumkammern und -prozessen

RGA Series Für die Untersuchung der Gaszusammensetzung in einer Kammer oder von einem Prozess
Ion Source Options Eine Auswahl von Elektronen-Einschlags-Ionenquellen, die mit allen RGAs kompatibel sind
HMT Eine RGA-System mit zwei Betriebsmodi für die Vakuumanalyse und Prozessüberwachung
HAL 201 RC Ein Restgasanalysator für anspruchsvolle UHV-Anwendungen
HALO 201 MBE Für Molekularstrahl-Anwendungen
HALO Für die Restgasanalyse
3F-PIC / 1000 Series PIC Transient-Massenspektrometer für die Analyse von schnellen Ereignissen im UHV
EPIC / EPIC 1000 Series Ein System für die Analyse von positiven und negativen Ionen, Neutralen und Radikalen im UHV
IDP / IDP 1000 Series Ein System für die Analyse von positiven und negativen Ionen, Neutralen und Radikalen in TPD-Untersuchungen im UHV
3F Series 1000 RGA Für höchste Präzision in wissenschaftlichen und Prozessanwendungen
XBS Ein System für die Überwachung der Abscheidungsrate in MBE-Prozessen
DLS Series Quadrupol-Massenspektrometer mit extrem hoher Auflösung
HAL 101X Für die Tokamak/Torus-Fusionsforschung

Massenspektrometer für die Oberflächenanalyse

Oberflächenanalyse, UHV-Oberflächenanalyse, SIMS & SNMS

Compact SIMS Kompaktes SIMS Instrument optimiert für Tiefenprofilanalysen im Nanometerbereich
AutoSIMS Automatisches Oberflächenanalyse-System
SIMS Workstation UHV-SIMS-Instrument für Dünnfilm- und Oberflächenanalyse, Statische SIMS, Tiefenprofilanalyse und SIMS-Bildgebung
EQS SIMS Analyser SIMS-Analyse-Modul zum Anflanschen für die Analyse von sekundären +ve und -ve Ionen fester Proben
MAXIM SIMS/SNMS-Analysator für statische und dynamische SIMS- und SNMS-Untersuchungen
IG5C Eine 5keV Primärionenquelle mit Cäsium-Ionen für die Oberflächenanalyse im UHV
IG20 Eine 5keV Primärionenquelle mit Argon- oder Sauerstoffionen für die Oberflächenanalyse im UHV