제품소개

가스 분석을 위한 질량 분석기

다양한 실험에 적용이 가능한 실시간 가스 분석 장비

QGA 정량 분석 가스 분석 장비
소형 가스 분석 장비 간단한 가스 실험 위한 장비
HPR-20 R&D 고급 실험을 위한 고성능 가스 분석 장비
HPR-20 EGA 열분석기 및 반응기에서 추출된 가스 분석 장비
HPR-20 TMS 빠른 가스 분석을 위한 질량 분석기
HPR-20 DLS 수소동위원소와 가벼운 기체의 고분해능 & 고감도 분석을 위한 장비
HPR-20 EPIC 전자 충격과 전자 부착 이온화 모드를 제공하는 장비
HPR-20 S1000 까지 질량분석이 가능한 장비
QIC BioStream 다양한 종류의 가스를 여러 개의 연결 포트 한번에 연결하여 측정이 가능한 가스 분석 장비
QIC MultiStream 다양한 종류의 가스를 여러 개의 연결 포트에 한번에 연결하여 측정이 가능한 가스 분석 장비와 선택 조절 정치
HPR-40 DSA 액체에 용해되어 있는 가스를 분석하기 위한 Membrane Inlet 질량 분석 장비
HPR-40 DEMS 연료 전지 분야와 액체에 용해 되어 있는 가스 분석을 위한 해결 방안
HPR-60 MBMS 대기압 플라즈마의 이온과 라디칼 측정을 위한 질량 분석기
HPR-70 대기압 상태의 매우 적은 양의 가스를 측정하기 위한 질량 분석기
HPR-90 전구 안의 가스를 분석하기 위한 질량 분석기
QIC Series Inlets HIDEN에서는 QIC 시리즈의 가스 분석 장비에 사용되는 다양한 inlet 옵션을 제공합니다.

촉매와 열분석기에서 반응 후 생성된 가스를 분석하기 위한 질량분석기

촉매 분석을 위한 자동 마이크로 반응기와 질량 분석기

CATLAB-PCS 자동 마이크로 반응기와 질량 분석기
CATLAB-FB 촉매 분석을 위한 평병 방식의 Furnance 반응기와 질량 분석기
HPR-20 TMS 대기압에서의 빠른 가스 분석을 위한 질량 분석기
HPR-20 EGA 열분석기 및 반응기에서 추출된 가스 분석 장비
SpaciMS 공간 분해능 Inlet의 질량 분석기
TPD Workstation 고진공 TPD 탈착 실험을 위한 질량분석기
3F-PIC 고진공 성태에서의 빠른 가스 분석을 위한 질량 분석기
HPR-40 DEMS 연료 전지 분야와 액체에 용해 되어 있는 가스 분석을 위한 해결 방안

박막, 플라즈마 그리고 표면 분석을 위한 질량 분석기

잔류 가스 측정기, 플라즈마 이온 분석, 표면 분석 그리고 이차 이온 및 플라즈마 식각공정의 종말점 검출

HPR-30 반도체 공정 및 잔류 가스 분석
EQP 플라즈마 내의 양이온, 음이온, 중성자 그리고 라디칼 분석
HPR-60 MBMS 대기압 상태에서 이온과 라디칼 분석을 위한 분자선 질량분석기
PSM 플라즈마 분석을 위한 질량 분석기
ESPion 플라즈마 특성 분석을 위한 랭뮤어프로브
IMP-EPD 식각공정의 종말점 검출 및 최적화된 공정을 위한 질량 분석기
XBS 다중 분자 빔 동시 측정 질량 분석기
TPD Workstation 고진공 TPD 탈착 실험을 위한 질량분석기
SIMS Workstation 박막 표면 분석, 이차이온검출 Depth profiling과 Imaging을 위한 고진공 이차이온 질량 분석기
Compact SIMS 나노 단위의 Depth profiling을 위한 소형 이차 이온 질량 분석기
AutoSIMS 자동 표면 분석 질량 분석기
EQS SIMS Analyser 고체 시료의 양이온과 음이온 분석을 위한 이차 이온 질량 분석기
MAXIM Static, Dynamic SIMS와 SNMS 분석을 위한 이차 이온 질량 분석기
IG5C 고진공 표면 분석을 위한 5KeV 세슘 이차 이온 질량 분석기용 이온건
IG20 고진공 표면 분석을 위한 5KeV 아르곤, 산소 이차 이온 질량 분석기용 이온건

잔류 가스 분석을 위한 질량 분석기

진공 장비나 공정 안에서의 기체나 증기의 분석

RGA Series 공정이나 실험 중 발생하는 기체와 잔류되어 있는 가스 분석을 위한 질량 분석기
Ion Source Options 어떠한 잔류 가스 분석기에도 사용이 가능한 다양한 종류의 이온원
HMT 진공 진단 및 고정 모니터링을 위한 두가지 기능이 방식이 내재된 질량 분석기
HAL 201 RC 고진공 실험을 위한 잔류 가스 분석기
HALO 201 MBE 분자 빔 실험을 위한 잔류 가스 분석기
HALO 잔류가스 측정용
3F-PIC / 1000 Series PIC 고진공 상태에서 빠른 가스 분석을 위한 질량 분석기
EPIC / EPIC 1000 Series 고진공 안의 중성자 라디칼 그리고 이온을 분석하기 위한 질량 분석기
IDP / IDP 1000 Series 고진공 안의 탈착 반응 실험 중 중성자 라디칼 그리고 이온을 분석하기 위한 질량 분석기
3F Series 1000 RGA 고급 실험 및 공정 실험을 위한 고성능 질량 분석기
XBS 다중 분자 빔 동시 측정 질량 분석기
DLS Series 고분해능 사중극자 질량 분석기
HAL 101X Tokamak/Torus 융합 분석용

표면 분석을 위한 질량 분석기

표면 분석, 고진공 표면 분석, 이차 이온 질량 분석기, 이차 중성 질량 분석기

Compact SIMS 나노 단위의 Depth profiling을 위한 소형 이차 이온 질량 분석기
AutoSIMS 자동 표면 분석 장치
SIMS Workstation 박막, Depth profiling , Imaging 측정을 위한 고진공 이차 이온 질량 분석기
EQS SIMS Analyser 고체 시료의 양이온과 음이온 분석을 위한 이차 이온 질량 분석기
MAXIM Static, Dynamic SIMS와 SNMS 분석을 위한 이차 이온 질량 분석기
IG5C 고진공 표면 분석을 위한 5KeV 세슘 이차 이온 질량 분석기용 이온건
IG20 고진공 표면 분석을 위한 5KeV 아르곤, 산소 이차 이온 질량 분석기용 이온건