Системы

Масс-спектрометры для газового анализа

Системы газового анализа в режиме  реального времени для широкого спектра приложений

QGA Количественный анализ газов
HPR-20 R&D Специализированная система газового анализа для передовых исследований
HPR-20 EGA Специализированные масс-спектрометры для термогравиметрического анализа
QIC Series Inlets Hiden предлагает широкий набор пробозаборов серии QIC
HPR-20 TMS Быстродействующий масс-спектрометр для анализа переходных и быстрых процессов
QIC Biostream Многопотоковый анализатор газов/газовых фаз для анализа выделяющихся газов при ферментации
QIC Multistream Интегрированный масс-спектрометр и переключатель пробозабора для многокомпонентного, многопотокового газового анализа
HPR-40 DSA Масс спектрометр с мембранным пробозабором для анализа растворенных соединений
HPR-40 DEMS Решения для анализа растворенных и выделяющихся газов при электрохимических процессах
HPR-60 MBMS Масс-спектрометр с пробозабором с молекулярным течением газа для анализа ионого и радикального состава
HPR-70 Настольная система газоанализа для дискретного анализа образцов малых объемов
HPR-90 Автоматизированная система со встроенным механизмом вскрытия для анализа состава отпаянных приборов (газовых ламп)
Compact Gas Analysers Для менее требовательных применений

Масс-спектрометры для исследования катализа и термических процессов

Автоматизированные микрореакторы и масс-спектрометры для исследования каталитических и термических процессов

CATLAB-PCS Автоматизированный микрореактор/масс-спектрометрическая система
CATLAB-FB Горизонтальная печь/Масс-спектрометрическая система для количественного определения характеристик катализаторов
SpaciMS Масс-спетрометр с вводным капилляром для измерений с пространственным разрешением
TPD Workstation Сверх-высоковакуумная установка для изучения температурно-программируемой десорбции
HPR-20 TMS Быстродействующий масс-спектрометр для анализа переходных и быстрых процессов
3F-PIC Быстродействующий Масс-спектрометр для анализа переходных и быстрых процессов в условиях сверх-высокого вакуума
HPR-60 MBMS Масс-спектрометр с пробозабором с молекулярным течением газа для анализа ионого и радикального состава

Масс-спектрометры для анализа тонких пленок, поверхности и плазмы

Анализ остаточных газов, ионов плазмы, анализа поверхности и ВИМС анализ окончания процесса травления

HPR-30 Анализ остаточных газов и технологических процессов
EQP Анализ положительных и отрицательных ионов, нейтральных частиц и радикалов
HPR-60 MBMS Масс-спектрометр с пробозабором с молекулярным течением газа для анализа ионого и радикального состава
PSM Масс-спектрометр с пробозабором из плазмы
ESPion Зонд Ленгмюра для диагностики плазмы
IMP-EPD Для контроля ионного травления и оптимального качества процесса
XBS Мониторинг скорости осаждения в процессах молекулярно-пучковой эпитаксии
TPD Workstation Для изучения температурно-программируемой  десорбции в условиях сверх-высокого вакуума
SIMS Workstation Сверх-высоковакуумная ВИМС система для анализа поверхности, статической масс-спектрометрии вторичных ионов, профилирования по глубине и построения изображений
Compact SIMS Компактная ВИМС система оптимизированная для профилирования по глубине в нанометровом масштабе
AutoSIMS Автоматизированная система поверхностного анализа
EQS SIMS Analyser Монтируемый на ВИМС систему анализатор вторичных положительных и отрицательных ионов от твердотельных образцов
MAXIM Анализатор вторичных ионов/нейтралей  для статических и динамических ВИМС и ВНМС применений
IG5C 5 кэв Цезиевый ионный источник ВИМС системы для СВВ анализа поверхности
IG20 5 КэВ Аргоновый или Кислородный ионный источник ВИМС системы для СВВ панализа поверхности

Масс-спектрометры для анализа остаточных газов

Анализ газов и газовых соединений в вакуумных камерах и процессах

RGA Series Для анализа компонентов присутствующих в исследуемом объеме или выделяющихся в результате процесса
Ion Source Options Широкий спектр ионных источников с ионизацией электронным ударом поставляются с любой RGA системой
HMT RGA система с режимом двойного анализа остаточных газов для вакуумной диагностики и мониторинга процессов
HAL 201 RC Анализатор остаточных газов сконфигурированный для требовательных сверх-высоковакуумных приложений
HALO 201 MBE Для приложений молекулярно-пучковой эпитаксии
HALO Для анализа остаточных газов
3F-PIC Быстродействующий масс-спектрометр для анализа переходных и быстрых процессов в условиях сверх-высокого вакуума
EPIC Система для анализа нейтралей, радикалов и ионов в сверх-высоковакуумном исполнении
IDP Система анализа ионов, нейтралей и радикалов в исследованиях десорбции в высоком вакууме
3F Series 1000 RGA Для высокопрецизионных научных и технологических приложений
XBS Мониторинг скорости осаждения в процессах молекулярно-пучковой эпитаксии
DLS Series Квадрупольный масс-спектрометр ультравысокого разрешения
HAL 101X Для ТОКАМАКов / Тороидов исследований управляемого термоядерного синтеза (УТС)

Масс-спектрометры для поверхностного анализа

Поверхностный анализ, сверх-высоковакуумный анализ, анализ вторичных ионов и нейтралей

AutoSIMS Автоматизированная система анализа поверхности
SIMS Workstation Сверх-высоковакуумная ВИМС система для  анализа поверхности, статической масс-спектрометрии вторичных ионов, профилирования по глубине и построения изображений
Compact SIMS Компактная ВИМС система оптимизированная для профилирования по глубине в нанометровом масштабе
EQS SIMS Analyser Монтируемый на ВИМС систему анализатор вторичных положительных и отрицательных ионов от твердотельных образцов
MAXIM Анализатор вторичных ионов/нейтралей  для статических и динамических ВИМС и ВНМС  применений
IG5C 5 кэв Цезиевый ионный источник ВИМС системы для СВВ анализа поверхности
IG20 5 КэВ Аргоновый или Кислородный ионный источник ВИМС системы для СВВ панализа поверхности